Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/36343
Title: Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии
Authors: Пилипенко, В. А.
Чижик, С. А.
Понарядов, В. В.
Петлицкая, Т. В.
Кузнецова, Т. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: Jan-2012
Publisher: БГУ
Citation: Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика. - 2012. - №1. - С. 17-20.
Abstract: The efficiency of the atomic-force microscopy method is demonstrated by metrological measurements of the mass-produced IC layout layers. Indisputable advantages of this method over optical microscopy are indicated, its irreplaceability in measurements of the microrelief height is emphasized. = Показана эффективность метода атомно-силовой микроскопии в осуществлении метрологических измерений топологических слоев серийно выпускаемых ИМС, его неоспоримое преимущество перед оптической микроскопией и незаменимость в измерении высоты микрорельефа.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/36343
ISSN: 0321-0367
Appears in Collections:2012, №1 (январь)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
17-20.pdf814,5 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.