Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/36343Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Чижик, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Понарядов, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Кузнецова, Т. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-06T07:49:10Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-06T07:49:10Z | - |
| dc.date.issued | 2012-01 | - |
| dc.identifier.citation | Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика. - 2012. - №1. - С. 17-20. | ru |
| dc.identifier.issn | 0321-0367 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/36343 | - |
| dc.description.abstract | The efficiency of the atomic-force microscopy method is demonstrated by metrological measurements of the mass-produced IC layout layers. Indisputable advantages of this method over optical microscopy are indicated, its irreplaceability in measurements of the microrelief height is emphasized. = Показана эффективность метода атомно-силовой микроскопии в осуществлении метрологических измерений топологических слоев серийно выпускаемых ИМС, его неоспоримое преимущество перед оптической микроскопией и незаменимость в измерении высоты микрорельефа. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГУ | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии | ru |
| dc.type | article | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2012, №1 (январь) | |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.