Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/36343| Заглавие документа: | Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии |
| Авторы: | Пилипенко, В. А. Чижик, С. А. Понарядов, В. В. Петлицкая, Т. В. Кузнецова, Т. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | янв-2012 |
| Издатель: | БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика. - 2012. - №1. - С. 17-20. |
| Аннотация: | The efficiency of the atomic-force microscopy method is demonstrated by metrological measurements of the mass-produced IC layout layers. Indisputable advantages of this method over optical microscopy are indicated, its irreplaceability in measurements of the microrelief height is emphasized. = Показана эффективность метода атомно-силовой микроскопии в осуществлении метрологических измерений топологических слоев серийно выпускаемых ИМС, его неоспоримое преимущество перед оптической микроскопией и незаменимость в измерении высоты микрорельефа. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/36343 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2012, №1 (январь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.