Влияние деформации на термоЭДС в силикатном стекле, легированном диоксидом рутения

Abstract

Исследованы влияние одноосной деформации на термоЭДС и сопротивления силикатного стекла, легированного диоксидом рутения по технологии толстопленочных резисторов. Для этих исследований была разработана и изготовлена конструкция, сочетающая на одной подложке толстопленочные нагреватель и термопару. Одноосная деформация образца создавалась изгибом керамической подложки. Изменения термоЭДС под действием деформации (тензочувствительность термоЭДС) сравнивнены с изменениями сопротивления (тензочувствительность сопротивления) того же образца при тех же деформациях. Выяснено, что тензочувствительность термоЭДС стекол разных составов в 20-120 раз выше, чем тензочувствительность сопротивления. Эти результаты вместе с функциями радиального распределения атомов в исследованных стеклах показали, что повышение степени беспорядка структуры стекла введением дополнительных компонентов (когда функция радиального распределения приближается к таковой в газах) увеличивает тензочувствительность термоЭДС, тогда как тензочувствительность сопротивления снижается. Сделан вывод, что термоЭДС в легированном силикатном стекле можно использовать для создания тензодатчиков с чувствительностью, во много раз превышающей таковую сопротивления того же материала. Ключевые слова: коэффициент Зеебека, коэффициент тензочувствительности, датчик деформации, трехточечная установка для изгиба, пьезорезистивный эффект.