Поглощение ИК-излучение структурами SiNx/Ti/SiNx

Козодоев, С. В.; Демидович, С. А.; Гайдук, П. И.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/337706

Title:	Поглощение ИК-излучение структурами SiNx/Ti/SiNx
Other Titles:	Absorbtion of IR radiation by structures SiNx/Ti/SiNx / S. V. Kozodoev, S. A. Demidovich, P. I. Gaiduk
Authors:	Козодоев, С. В. Демидович, С. А. Гайдук, П. И.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2025
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Квантовая электроника : материалы XV Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–20 нояб. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: А. А. Афоненко (гл. ред.), М. М. Кугейко, А. В. Баркова. – Минск : БГУ, 2025. – С. 256-258.
Abstract:	Методом Фурье спектроскопии обнаружено, что по сравнению с монослоем SiNx, структуры SiNx/Ti/SiNx с поверхностным микрорельефом более эффективно (на 20 – 60 %) поглощают инфракрасное (ИК) излучение в диапазоне 14 – 24 мкм. Показано, что усиление поглощения имеет место для различных топологических рисунков профилированного Ti (рамок, перекрестий). Вместе с тем выявлено более высокое (на 3 – 18 %) поглощение излучения в диапазоне 16 – 24 мкм при использовании поверхностных микроструктур в виде перекрестий
Abstract (in another language):	It is found by Fourier spectroscopy that, compared with the SiNx monolayer, SiNx/Ti/SiNx structures with a surface microrelief absorb infrared (IR) radiation in the range of 14 – 24 μm more efficiently (by 20– 60 %). It is shown that an increase in absorption occurs for various topological patterns of profiled Ti (frames, crosshairs). At the same time, a higher (by 3 – 18 %) absorption of radiation in the range of 16 – 24 μm was revealed when using surface microstructures in the form of crosshairs
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/337706
ISBN:	978-985-881-861-6
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2025. Квантовая электроника

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
256-258.pdf		1,62 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar