Физико-химические основы микроэлектроники. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2724/б.

Леонтьев, А. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/331728

Title:	Физико-химические основы микроэлектроники. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2724/б.
Authors:	Леонтьев, А. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2025
Publisher:	БГУ, РФиКТ, Кафедра физической электроники и нанотехнологий
Abstract:	Цель учебной дисциплины «Физико-химические основы микроэлектроники» – формирование у студентов систематизированных знаний и навыков в области технологии микроэлектронных устройств, материалов микро - и наноэлектроники, а также методов их получения. Задачи учебной дисциплины: дать представление о базовом технологическом процессе изготовления интегральных схем; научить студентов анализировать физические и химические явления, протекающие в твердых телах; дать представления о твердофазных химических реакциях, лежащих в основе технологий микро - и наноэлектроники; ознакомить студентов с фотохимическими реакциями, лежащими в основе фотолитографии.
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/331728
Licence:	info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Appears in Collections:	Кафедра физической электроники и нанотехнологий (учебные программы, I ступень)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
ФХОМ_FIN 2025.pdf		1,29 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar