Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/331728| Заглавие документа: | Физико-химические основы микроэлектроники. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2724/б. |
| Авторы: | Леонтьев, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | БГУ, РФиКТ, Кафедра физической электроники и нанотехнологий |
| Аннотация: | Цель учебной дисциплины «Физико-химические основы микроэлектроники» – формирование у студентов систематизированных знаний и навыков в области технологии микроэлектронных устройств, материалов микро - и наноэлектроники, а также методов их получения. Задачи учебной дисциплины: дать представление о базовом технологическом процессе изготовления интегральных схем; научить студентов анализировать физические и химические явления, протекающие в твердых телах; дать представления о твердофазных химических реакциях, лежащих в основе технологий микро - и наноэлектроники; ознакомить студентов с фотохимическими реакциями, лежащими в основе фотолитографии. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/331728 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физической электроники и нанотехнологий (учебные программы, I ступень) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ФХОМ_FIN 2025.pdf | 1,29 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.