Физико-химические основы микроэлектроники. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2724/б.

Abstract

Цель учебной дисциплины «Физико-химические основы микроэлектроники» – формирование у студентов систематизированных знаний и навыков в области технологии микроэлектронных устройств, материалов микро - и наноэлектроники, а также методов их получения. Задачи учебной дисциплины: дать представление о базовом технологическом процессе изготовления интегральных схем; научить студентов анализировать физические и химические явления, протекающие в твердых телах; дать представления о твердофазных химических реакциях, лежащих в основе технологий микро - и наноэлектроники; ознакомить студентов с фотохимическими реакциями, лежащими в основе фотолитографии.