Управление ионно-плазменными процессами в микроэлектронике. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2605/б.

Бурмаков, А. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/330893

Title:	Управление ионно-плазменными процессами в микроэлектронике. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2605/б.
Authors:	Бурмаков, А. П.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2025
Publisher:	БГУ, РФиКТ, Кафедра физической электроники и нанотехнологий
Abstract:	Целью учебной дисциплины является формирование у студентов систематизированных знаний и практических навыков современного состояния результатов изучения и применения процессов взаимодействия потоков атомных частиц и плазмы с твердым телом в электронике и микроэлектронике в условиях управляемого проведения этих процессов.
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/330893
Licence:	info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Appears in Collections:	Кафедра физической электроники и нанотехнологий (учебные программы, I ступень)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Управление ионно-плазменными процессами в ммкроэлектронике.pdf		5,59 MB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar