Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/330893| Заглавие документа: | Управление ионно-плазменными процессами в микроэлектронике. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2605/б. |
| Авторы: | Бурмаков, А. П. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | БГУ, РФиКТ, Кафедра физической электроники и нанотехнологий |
| Аннотация: | Целью учебной дисциплины является формирование у студентов систематизированных знаний и практических навыков современного состояния результатов изучения и применения процессов взаимодействия потоков атомных частиц и плазмы с твердым телом в электронике и микроэлектронике в условиях управляемого проведения этих процессов. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/330893 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физической электроники и нанотехнологий (учебные программы, I ступень) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Управление ионно-плазменными процессами в ммкроэлектронике.pdf | 5,59 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.