Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/330893Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Бурмаков, А. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2025-06-24T19:39:35Z | - |
| dc.date.available | 2025-06-24T19:39:35Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/330893 | - |
| dc.description.abstract | Целью учебной дисциплины является формирование у студентов систематизированных знаний и практических навыков современного состояния результатов изучения и применения процессов взаимодействия потоков атомных частиц и плазмы с твердым телом в электронике и микроэлектронике в условиях управляемого проведения этих процессов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГУ, РФиКТ, Кафедра физической электроники и нанотехнологий | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.title | Управление ионно-плазменными процессами в микроэлектронике. Учебная программа учреждения образования по учебной дисциплине для специальности: 6-05-0533-05 Радиофизика и информационные технологии. Регистрационный №2605/б. | ru |
| dc.type | syllabus | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физической электроники и нанотехнологий (учебные программы, I ступень) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Управление ионно-плазменными процессами в ммкроэлектронике.pdf | 5,59 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.