Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/329593
Заглавие документа: Оптические характеристики пленок полиимида, имплантированных высокой дозой ионов железа
Другое заглавие: Optical properties of polyimide films implanted with high dose of iron ions / A. V. Yuschik, Dai XinYi, M. G. Lukashevich, V. B. Odzhaev, V. F. Valeev, R. I. Khaibullin
Авторы: Ющик, А. В.
Даи Синьи
Лукашевич, М. Г.
Оджаев, В. Б.
Валеев, В. Ф.
Хайбуллин, Р. И.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2025
Издатель: Минск : БГУ
Библиографическое описание источника: Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 330-336.
Аннотация: В диапазоне длин волн 200–3000 нм исследовано пропускание и отражение исходных и имплантированных высокой дозой (D1 = 5·10 16 и D2 = 1,25·10 17 см-2) ионов железа тонких (40 мкм) пленок полиимида. Интегральный коэффициент пропускания при имплантации уменьшается более чем в три раза, а интегральный коэффициент отражения имеет немонотонную зависимость, показывая увеличение в 2,4 и 1,5 раза при дозе D1 = 5·10 16 см-2 и падении света на имплантированную и не имплантированную стороны соответственно, и уменьшение до величины отражения исходной пленки независимо от стороны падения при дозе D2 = 1,25·10 17 см-2, обусловленное карбонизацией приповерхностного слоя пленки и формированием в нем включений железа и его оксидов
Аннотация (на другом языке): In the wavelength range 200–3000 nm the transmittance and reflection of initial and implanted with high dose (D1 = 5·10 16 and D2 = 1·10 17 cm-2) of iron ions thin (40 μm) films of polyimide were investigated. The integral transmittance decreases by more than a factor of three upon implantation, and the integral reflectance has a non-monotonic dependence, showing an increase of 2.4 and 1.5 times at dose D1 = 5·10 16 cm-2 and light incident on the implanted and non-implanted sides, respectively, and decrease to the reflection value of the original film irrespective of the incident side at the dose D2 = 1.25·10 17 cm-2, caused by carbonisation of the film surface layer and formation of iron inclusions and its oxides in it
Доп. сведения: Дефектно-примесная инженерия. Радиационные эффекты в полупроводниках
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/329593
ISBN: 978-985-881-739-8
Лицензия: info:eu-repo/semantics/openAccess
Располагается в коллекциях:2024. Материалы и структуры современной электроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
330-336.pdf427,17 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.