Структурные особенности тонкопленочных неорганических фоторезистов на основе смешанных оксидов молибдена-ванадия, полученных поликонденсацией оксокислот

Свиридова, Т. В.; Логвинович, А. С.; Оджаев, В. Б.; Свиридов, Д. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/329554

Title:	Структурные особенности тонкопленочных неорганических фоторезистов на основе смешанных оксидов молибдена-ванадия, полученных поликонденсацией оксокислот
Other Titles:	Structurul features of thin-film photoresists based on mixed molybdenum-vanadium oxides derived via polycondensation of oxoacids / T. V. Sviridova, A. S. Logvinovich, V. B. Odzaev, D. V. Sviridov
Authors:	Свиридова, Т. В. Логвинович, А. С. Оджаев, В. Б. Свиридов, Д. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2025
Publisher:	Минск : БГУ
Citation:	Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 164-168.
Abstract:	Показано, что пленки V2О5:MoО3, полученные из водных растворов олигомеризованной молибден-ванадиевой оксокислоты (средний размер олигомерных оксочастиц 37 нм) имеют упорядоченное слоистое строение. Сшивание отдельных структурных элементов пленки под действием актиничного (УФ) облучения обеспечивает формирование компактного смешанного оксида молибдена-ванадия, равномерно травящегося в кислых водных растворах и теряющего растворимость при высоких экспозициях. Это, в свою очередь, открывает возможность получения топологических изображений со сложным рельефом
Abstract (in another language):	It has been shown that V2О5:MoО3 films derived from oligomeric molybdenum-vanadium oxoacid (the mean size of oxo-particles was estimated to be 37 nm) possess lamellar structure. The binding of structural elements of the film under actinic (UV) illumination ensures formation of compact hydrated molybdenum-vanadium mixed oxide demonstrating uniform etching in the acidic aqueous solutions loosing the solubility under high exposures. This, in its turn, opens the possibility of generation of topological patterns with complicated relief
Description:	Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/329554
ISBN:	978-985-881-739-8
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	2024. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
164-168.pdf		376,82 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar