Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329544| Title: | Композиционный состав структуры вольфрамовая пленка/кремний, сформированной катодно-вакуумным распылением |
| Other Titles: | Composition of tungsten film/silicon structure formed by cathode-vacuum sputtering / O. M. Mikhalkovich, S. M. Baraishuk, T. M. Tkachenko |
| Authors: | Михалкович, О. М. Барайшук, С. М. Ткаченко, Т. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 121-123. |
| Abstract: | Проведены исследования композиционного состава тонких пленок сформированных, методом катодного распыления W в условиях ионного ассистирования на Si. Ускоряющий потенциал ассистирующих ионов W составлял 7, 15 и 20 кВ, время экспонирования – 1 час. Использовался метод Резерфордовского обратного рассеяния ионов He + с энергией 1,45 МэВ (∆E = 15 кэВ) и геометрией рассеяния θ1 = 0°, θ2 = 70°, θ3 = 110°, и компьютерное моделирование экспериментальных спектров РОР по программе RUMP. Распределение элементов в массиве пленки практически равномерное. Концентрация атомов W, Si, C, O, H в пленке составляет в среднем 12, 6, 48, 29, 5 ат.% соответственно |
| Abstract (in another language): | The composition of thin films formed by cathode sputtering of tungsten on silicon with ion assisted were studied. The accelerating potential of the assisting ions W was 7, 15 and 20 kV, the exposure time was 1 hour. The method of Rutherford backscattering of He + ions with an energy of 1.45 MeV (∆E = 15 keV) and with scattering geometry θ1 = 0°, θ2 = 70°, θ3 =110° and the modeling program RUMP of RBS spectra we used. The distribution of elements in the film mass is almost uniform. The concentration of W, Si, C, O, H atoms in the film averages 12, 6, 48, 29, 5 at.%, respectively |
| Description: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329544 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования Республики Беларусь № ГР 20211394. |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 121-123.pdf | 333,7 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.