Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329511| Заглавие документа: | Электротранспортные свойства углеродной наноструктуры, полученной методом PECVD |
| Другое заглавие: | Electrotransport properties of carbon nanostructure obtained by PECVD method / A. A. Kharchanka, A. K. Fedotov, J. A. Fedotova |
| Авторы: | Харченко, А. А. Федотов, А. К. Федотова, Ю. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 555-559. |
| Аннотация: | Обнаружено, что в дефектных графитовых слоях, полученных методом химического осаждения из газовой фазы, усиленной микроволновой плазмой (PECVD), толщинами 20 нм и 35 нм, основным механизмом электротранспорта является проводимость Друде в условиях двухмерных квантовых поправок. Показано, что температурные кривые проводимости описываются как комбинация вкладов от квантовых поправок и активационного механизма. При увеличении толщины до 35 нм наблюдается появление трехмерных квантовых поправок |
| Аннотация (на другом языке): | It is found that in defective graphite layers obtained by the method of chemical vapor deposition, enhanced by microwave plasma (PECVD), with thicknesses of 20 nm and 35 nm, the main mechanism of electric transport is the Drude conductivity under conditions of two-dimensional quantum corrections. It is shown that the temperature curves of conductivity are described as a combination of contributions from quantum corrections and the activation mechanism. With an increase in thickness to 35 nm, the appearance of three-dimensional quantum corrections is observed |
| Доп. сведения: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329511 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Финансовая поддержка: | Работа финансировалась в рамках государственной программы научных исследований «ГПНИ «Фотоника и электроника для инноваций», 2021–2025 годы», «Микро- и наноэлектроника») № г.р. 20212560. |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 555-559.pdf | 448,01 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.