Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329511| Title: | Электротранспортные свойства углеродной наноструктуры, полученной методом PECVD |
| Other Titles: | Electrotransport properties of carbon nanostructure obtained by PECVD method / A. A. Kharchanka, A. K. Fedotov, J. A. Fedotova |
| Authors: | Харченко, А. А. Федотов, А. К. Федотова, Ю. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 555-559. |
| Abstract: | Обнаружено, что в дефектных графитовых слоях, полученных методом химического осаждения из газовой фазы, усиленной микроволновой плазмой (PECVD), толщинами 20 нм и 35 нм, основным механизмом электротранспорта является проводимость Друде в условиях двухмерных квантовых поправок. Показано, что температурные кривые проводимости описываются как комбинация вкладов от квантовых поправок и активационного механизма. При увеличении толщины до 35 нм наблюдается появление трехмерных квантовых поправок |
| Abstract (in another language): | It is found that in defective graphite layers obtained by the method of chemical vapor deposition, enhanced by microwave plasma (PECVD), with thicknesses of 20 nm and 35 nm, the main mechanism of electric transport is the Drude conductivity under conditions of two-dimensional quantum corrections. It is shown that the temperature curves of conductivity are described as a combination of contributions from quantum corrections and the activation mechanism. With an increase in thickness to 35 nm, the appearance of three-dimensional quantum corrections is observed |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329511 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Sponsorship: | Работа финансировалась в рамках государственной программы научных исследований «ГПНИ «Фотоника и электроника для инноваций», 2021–2025 годы», «Микро- и наноэлектроника») № г.р. 20212560. |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 555-559.pdf | 448,01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.