Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857
Заглавие документа: | Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-13103/уч. |
Авторы: | Просолович, Владислав Савельевич Оджаев, Владимир Борисович Лукашевич, Михаил Григорьевич |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Дата публикации: | 15-июл-2024 |
Издатель: | БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Аннотация: | В данной учебной дисциплине рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов. |
Доп. сведения: | Дисциплина изучается в 7 семестре. Всего на изучение учебной дисциплины "Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур" отведено: - для очной формы получения высшего образования - 200 часов, в том числе 100 аудиторных часа, из них: лекции - 44 часа, семинарские занятия - 44 часа, аудиторный контроль управляемой самостоятельной работы - 12 часов. Трудоемкость учебной дисциплины составляет 6 зачетных единиц. Форма промежуточной аттестации - экзамен. |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур.pdf | 512,4 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.