Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857
Заглавие документа: Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-13103/уч.
Авторы: Просолович, Владислав Савельевич
Оджаев, Владимир Борисович
Лукашевич, Михаил Григорьевич
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Дата публикации: 15-июл-2024
Издатель: БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники
Аннотация: В данной учебной дисциплине рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов.
Доп. сведения: Дисциплина изучается в 7 семестре. Всего на изучение учебной дисциплины "Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур" отведено: - для очной формы получения высшего образования - 200 часов, в том числе 100 аудиторных часа, из них: лекции - 44 часа, семинарские занятия - 44 часа, аудиторный контроль управляемой самостоятельной работы - 12 часов. Трудоемкость учебной дисциплины составляет 6 зачетных единиц. Форма промежуточной аттестации - экзамен.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857
Лицензия: info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Располагается в коллекциях:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур.pdf512,4 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.