Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorПросолович, Владислав Савельевич-
dc.contributor.authorОджаев, Владимир Борисович-
dc.contributor.authorЛукашевич, Михаил Григорьевич-
dc.date.accessioned2024-10-22T18:37:05Z-
dc.date.available2024-10-22T18:37:05Z-
dc.date.issued2024-07-15-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/320857-
dc.descriptionДисциплина изучается в 7 семестре. Всего на изучение учебной дисциплины "Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур" отведено: - для очной формы получения высшего образования - 200 часов, в том числе 100 аудиторных часа, из них: лекции - 44 часа, семинарские занятия - 44 часа, аудиторный контроль управляемой самостоятельной работы - 12 часов. Трудоемкость учебной дисциплины составляет 6 зачетных единиц. Форма промежуточной аттестации - экзамен.ru
dc.description.abstractВ данной учебной дисциплине рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроникиru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехникаru
dc.titleТехпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-13103/уч.ru
dc.typesyllabusru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Располагается в коллекциях:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур.pdf512,4 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.