Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857| Title: | Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-13103/уч. |
| Authors: | Просолович, Владислав Савельевич Оджаев, Владимир Борисович Лукашевич, Михаил Григорьевич |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 15-Jul-2024 |
| Publisher: | БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
| Abstract: | В данной учебной дисциплине рассматриваются основные факторы, влияющие на технологические процессы изготовления устройств микро- и наноэлектроники. Приводятся возможности и ограничения важнейших методов исследования материалов на различных стадиях технологических процессов. |
| Description: | Дисциплина изучается в 7 семестре. Всего на изучение учебной дисциплины "Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур" отведено: - для очной формы получения высшего образования - 200 часов, в том числе 100 аудиторных часа, из них: лекции - 44 часа, семинарские занятия - 44 часа, аудиторный контроль управляемой самостоятельной работы - 12 часов. Трудоемкость учебной дисциплины составляет 6 зачетных единиц. Форма промежуточной аттестации - экзамен. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/320857 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Техпроцессы в микро- и наноэлектронике, методы исследования электронных структур.pdf | 512,4 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.