Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/283459| Title: | Определение параметров плазмы реактивного магнетронного разряда методами оптической спектрометрии: аннотация дипломной работы / Савелий Александрович Белов; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович |
| Authors: | Белов, Савелий Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск: БГУ |
| Abstract: | Цель работы разработка автоматизированной системы спектроскопической диагностики плазмы магнетронного разряда на базе спектрографа ДФС-458С и проведение оптико-спектральных исследований параметров плазмы магнетронного разряда в процессах осаждения плёнок Ti-Al-N. |
| Abstract (in another language): | Objective – development of the automated system for spectroscopic diagnostics of magnetron discharge plasma based on the DFS-458S spectrograph and conduct optical-spectral studies of magnetron discharge plasma parameters in the deposition of Ti Al N films. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/283459 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Физическая электроника. 2022 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Belov_rfe_ref.pdf | 328,21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.