Определение параметров плазмы реактивного магнетронного разряда методами оптической спектрометрии: аннотация дипломной работы / Савелий Александрович Белов; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович

Белов, Савелий Александрович

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/283459

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Белов, Савелий Александрович	-
dc.date.accessioned	2022-07-01T12:29:42Z	-
dc.date.available	2022-07-01T12:29:42Z	-
dc.date.issued	2022	-
dc.identifier.uri	https://elib.bsu.by/handle/123456789/283459	-
dc.description.abstract	Цель работы разработка автоматизированной системы спектроскопической диагностики плазмы магнетронного разряда на базе спектрографа ДФС-458С и проведение оптико-спектральных исследований параметров плазмы магнетронного разряда в процессах осаждения плёнок Ti-Al-N.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Минск: БГУ	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Определение параметров плазмы реактивного магнетронного разряда методами оптической спектрометрии: аннотация дипломной работы / Савелий Александрович Белов; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович	ru
dc.type	annotation	ru
dc.rights.license	CC BY 4.0	ru
dc.description.alternative	Objective – development of the automated system for spectroscopic diagnostics of magnetron discharge plasma based on the DFS-458S spectrograph and conduct optical-spectral studies of magnetron discharge plasma parameters in the deposition of Ti Al N films.	ru
Appears in Collections:	Физическая электроника. 2022

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Belov_rfe_ref.pdf		328,21 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar