Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/283459| Заглавие документа: | Определение параметров плазмы реактивного магнетронного разряда методами оптической спектрометрии: аннотация дипломной работы / Савелий Александрович Белов; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович |
| Авторы: | Белов, Савелий Александрович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск: БГУ |
| Аннотация: | Цель работы разработка автоматизированной системы спектроскопической диагностики плазмы магнетронного разряда на базе спектрографа ДФС-458С и проведение оптико-спектральных исследований параметров плазмы магнетронного разряда в процессах осаждения плёнок Ti-Al-N. |
| Аннотация (на другом языке): | Objective – development of the automated system for spectroscopic diagnostics of magnetron discharge plasma based on the DFS-458S spectrograph and conduct optical-spectral studies of magnetron discharge plasma parameters in the deposition of Ti Al N films. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/283459 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Физическая электроника. 2022 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Belov_rfe_ref.pdf | 328,21 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.