Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/283454| Title: | Реактивное магнетронное осаждение нитридных TiAlN и карбонитридных TiAlCN покрытий: структура и оптические свойства: аннотация дипломной работы / Егор Витальевич Самец; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович |
| Authors: | Самец, Егор Витальевич |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Минск: БГУ |
| Abstract: | Цель работы – отработка оптимальных режимов нанесения нитридных TiAlN и карбонитридных TiAlCN покрытий методом реактивного магнетронного распыления и исследование их структурных и оптических свойств, таких как коэффициент отражения, а также рассмотрение возможность их использования в различных областях науки и техники. |
| Abstract (in another language): | Objects of study are nanostructured nitride TiAlN and carbonitride TiAlCN coatings. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/283454 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Физическая электроника. 2022 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Samec_rfe_ref.pdf | 329,91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.