Реактивное магнетронное осаждение нитридных TiAlN и карбонитридных TiAlCN покрытий: структура и оптические свойства: аннотация дипломной работы / Егор Витальевич Самец; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович

Abstract

Цель работы – отработка оптимальных режимов нанесения нитридных TiAlN и карбонитридных TiAlCN покрытий методом реактивного магнетронного распыления и исследование их структурных и оптических свойств, таких как коэффициент отражения, а также рассмотрение возможность их использования в различных областях науки и техники.