Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/283454| Заглавие документа: | Реактивное магнетронное осаждение нитридных TiAlN и карбонитридных TiAlCN покрытий: структура и оптические свойства: аннотация дипломной работы / Егор Витальевич Самец; БГУ, факультет радиофизики и компьютерных технологий, кафедра физической электроники и нанотехнологий; науч. рук. Зайков Валерий Александрович |
| Авторы: | Самец, Егор Витальевич |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск: БГУ |
| Аннотация: | Цель работы – отработка оптимальных режимов нанесения нитридных TiAlN и карбонитридных TiAlCN покрытий методом реактивного магнетронного распыления и исследование их структурных и оптических свойств, таких как коэффициент отражения, а также рассмотрение возможность их использования в различных областях науки и техники. |
| Аннотация (на другом языке): | Objects of study are nanostructured nitride TiAlN and carbonitride TiAlCN coatings. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/283454 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Физическая электроника. 2022 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Samec_rfe_ref.pdf | 329,91 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.