Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28082| Title: | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО- ПЛАЗМЕННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОИЗДЕЛИЙ «ЛЕГЕНДА» |
| Authors: | Борисов, Д. П. Зенин, А. А. Коротаев, А. Д. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Представлена вакуумная установка для высококачественной реализации таких видов технологических процессов ионно-плазменной обработки поверхности металлоизделий как очистка, травление, полировка, азотирование, легиро- вание и имплантация ионами газов и осаждение углеводородных тонких плёнок. Представленный технологический вакуумно-плазменный комплекс основан на высокоэффективном генераторе низкотемпературной газоразрядной плаз- мы с полым анодом, которым является внутренняя поверхность самой вакуумной технологической камеры большого объёма. Генерация однородно распределённой газоразрядной плазмы высокой концентрации осуществляется за счёт стационарного горения несамостоятельного газового дугового разряда низкого давления с катодом, состоящим из двух комбинированных (термоэмиссионного и полого) катодных узлов, расположенных каждый на диаметрально противопо- ложных фланцах цилиндрической вакуумной камеры |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28082 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Борисов.pdf | 401,38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.