ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО- ПЛАЗМЕННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОИЗДЕЛИЙ «ЛЕГЕНДА»

Abstract

Представлена вакуумная установка для высококачественной реализации таких видов технологических процессов ионно-плазменной обработки поверхности металлоизделий как очистка, травление, полировка, азотирование, легиро- вание и имплантация ионами газов и осаждение углеводородных тонких плёнок. Представленный технологический вакуумно-плазменный комплекс основан на высокоэффективном генераторе низкотемпературной газоразрядной плаз- мы с полым анодом, которым является внутренняя поверхность самой вакуумной технологической камеры большого объёма. Генерация однородно распределённой газоразрядной плазмы высокой концентрации осуществляется за счёт стационарного горения несамостоятельного газового дугового разряда низкого давления с катодом, состоящим из двух комбинированных (термоэмиссионного и полого) катодных узлов, расположенных каждый на диаметрально противопо- ложных фланцах цилиндрической вакуумной камеры