Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/264556| Title: | Измерения параметров структур в электронной промышленности: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-9809/уч. |
| Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 31-May-2021 |
| Publisher: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники, Физический факультет |
| Abstract: | Данный курс призван представить современную аппаратуру для контроля параметров структур электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых интегральных микросхем. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Отражены этапы в развитии измерительной техники, используемой в электронике, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. Дисциплина изучается в 5 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/264556 |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Измерения параметров структур в электронной промышленности.pdf | 341,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.