Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/264556
Заглавие документа: Измерения параметров структур в электронной промышленности: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-9809/уч.
Авторы: Пилипенко, Владимир Александрович
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Дата публикации: 31-мая-2021
Издатель: Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники, Физический факультет
Аннотация: Данный курс призван представить современную аппаратуру для контроля параметров структур электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых интегральных микросхем. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Отражены этапы в развитии измерительной техники, используемой в электронике, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. Дисциплина изучается в 5 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/264556
Располагается в коллекциях:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Измерения параметров структур в электронной промышленности.pdf341,17 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.