Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/264556
Заглавие документа: | Измерения параметров структур в электронной промышленности: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-9809/уч. |
Авторы: | Пилипенко, Владимир Александрович |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Дата публикации: | 31-мая-2021 |
Издатель: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники, Физический факультет |
Аннотация: | Данный курс призван представить современную аппаратуру для контроля параметров структур электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых интегральных микросхем. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Отражены этапы в развитии измерительной техники, используемой в электронике, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. Дисциплина изучается в 5 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен. |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/264556 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Измерения параметров структур в электронной промышленности.pdf | 341,17 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.