Измерения параметров структур в электронной промышленности: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 08 Компьютерная физика. № УД-9809/уч.

Abstract

Данный курс призван представить современную аппаратуру для контроля параметров структур электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых интегральных микросхем. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Отражены этапы в развитии измерительной техники, используемой в электронике, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. Дисциплина изучается в 5 семестре. Форма текущей аттестации – экзамен.