Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/257295
Title: Сдвиг полос комбинационного рассеяния света в твердых растворах SiGe, обработанных в водородной плазме
Other Titles: Raman bands shifting in SiGe solid solutions treated in hydrogen plasma / A. V. Giro, A. N. Petukh, Yu. М. Pokotiliо, О. V. Кorolik
Authors: Гиро, А. В.
Петух, А. Н.
Покотило, Ю. М.
Королик, О. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2020
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Междунар. науч. конф., Минск, 14–16 окт. 2020 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2020. – С. 171-174.
Abstract: Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС) исследовались плёнки твёрдых растворов кремний-германий с различным компонентным составом, которые подвергались обработке в водородной плазме и последующей термообработке при 275 °С. Было обнаружено, что обработка в водородной плазме приводит к сдвигу полос Si-Si, Ge-Ge и Si-Ge в спектре КРС в сторону более низких частот. Полосы Si-H, наблюдаемые в чистом кремнии, не наблюдаются в спектрах твёрдых растворов кремний-германий
Abstract (in another language): Silicon-germanium solid solution films with different compositions, treated in hydrogen plasma and also heat-treated at 275 °C, were studied by Raman spectroscopy. It was found that treatment in hydrogen plasma leads to a shift of the Si-Si, Ge-Ge and Si-Ge bands in the Raman spectrum towards lower frequencies. The Si-H bands observed in pure silicon are not observed in the spectra of silicon-germanium solid solutions
Description: Дефектно-примесная инженерия. Радиационные эффекты в полупроводниках
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/257295
ISBN: 978-985-881-073-3
Appears in Collections:2020. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
171-174.pdf467,05 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.