Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/256854| Title: | Измерения параметров полупроводниковых структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 07 Физика наноматериалов и нанотехнологий. № УД-9310/уч. |
| Authors: | Пилипенко, Владимир Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение |
| Issue Date: | 30-Sep-2020 |
| Publisher: | Физический факультет, кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
| Abstract: | Курс призван максимально широко представить аппаратуру современных методов контроля материалов электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых интегральных микросхем. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Отражены этапы в развитии материалов, используемых в электронике, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/256854 |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Измерения параметров полупроводниковых структур_Пилипенко.pdf | 392,08 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.