Измерения параметров полупроводниковых структур: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 07 Физика наноматериалов и нанотехнологий. № УД-9310/уч.

Abstract

Курс призван максимально широко представить аппаратуру современных методов контроля материалов электронной техники, показать конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений и способы подготовки образцов для измерений. В курсе рассматриваются основные факторы, влияющие на качество изготавливаемых интегральных микросхем. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Отражены этапы в развитии материалов, используемых в электронике, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы.