Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/247134| Заглавие документа: | Термическая обработка борофосфоросиликатных стекол |
| Авторы: | Лабуда, А. А. Сидерко, А. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1994 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1994. – № 3. – С. 36-39. |
| Аннотация: | Thermal processing of borophosphosilicate glasses has been studied in the relief-planarization process of integrated circuits and the optimum parameters of this process have been determined |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/247134 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1994, №3 (сентябрь) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.