Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/246387| Title: | Зарядовая стабильность боро- и борофосфоросиликатных стекол |
| Authors: | Лабуда, А. А. Сидерко, А. А. Простов, И. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 1996 |
| Publisher: | Минск : Універсітэцкае |
| Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1996. – № 2. – С. 14-17. |
| Abstract: | Charge stability of doped silicate glasses used as planarization isolation in the production of integrated circuits has been studied experimentally. The multifactor dependence of this parameter has been established, and possible methods for stabilizing the charge states have been proposed |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/246387 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при финансовой поддержке НПО “Интеграл”. |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 1996, №2 (май) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.