Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/246387| Заглавие документа: | Зарядовая стабильность боро- и борофосфоросиликатных стекол |
| Авторы: | Лабуда, А. А. Сидерко, А. А. Простов, И. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 1996 |
| Издатель: | Минск : Універсітэцкае |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1996. – № 2. – С. 14-17. |
| Аннотация: | Charge stability of doped silicate glasses used as planarization isolation in the production of integrated circuits has been studied experimentally. The multifactor dependence of this parameter has been established, and possible methods for stabilizing the charge states have been proposed |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/246387 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Финансовая поддержка: | Работа выполнена при финансовой поддержке НПО “Интеграл”. |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1996, №2 (май) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.