Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Архив журналов БГУ
  3. «Вестник БГУ» : научно-теоретический журнал Белорусского государственного университета
  4. Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика.
  5. 1996, №2 (май)
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/246387
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЛабуда, А. А.-
dc.contributor.authorСидерко, А. А.-
dc.contributor.authorПростов, И. В.-
dc.date.accessioned2020-07-20T10:17:50Z-
dc.date.available2020-07-20T10:17:50Z-
dc.date.issued1996-
dc.identifier.citationВестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 1996. – № 2. – С. 14-17.ru
dc.identifier.issn0321-0367-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/246387-
dc.description.abstractCharge stability of doped silicate glasses used as planarization isolation in the production of integrated circuits has been studied experimentally. The multifactor dependence of this parameter has been established, and possible methods for stabilizing the charge states have been proposedru
dc.description.sponsorshipРабота выполнена при финансовой поддержке НПО “Интеграл”.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : Універсітэцкаеru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleЗарядовая стабильность боро- и борофосфоросиликатных стеколru
dc.typearticleru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Располагается в коллекциях:1996, №2 (май)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
14-17.pdf181,29 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.