Оптические характеристики пленок полиамида, имплантированных ионами кобальта

Abstract

Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200–1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2,5×10^16–1,5×10^17 cм^-2 при плотности тока в ионном пучке 4мкА/см ^2 . Имплантация приводит к изменению коэффициентов пропускания и отражения как с имплантированной, так и неимплантированной стороны вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. Проведено моделирование пропускания и отражения света и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследованном интервале доз изменяется пределах 1,3–2,1.