Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/229622| Заглавие документа: | Определение линейных размеров, элементного состава, дефектов интегральных микросхем методом сканирующей растровой электронной микроскопии : реферат к дипломной работе / Евгений Егорович Стародубец; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. Петлицкий А. Н., Карпович И. А. |
| Авторы: | Стародубец, Евгений Егорович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2019 |
| Аннотация: | Целью данной работы является разработка методики контроля элементного состава дефектов субмикронных микросхем с проектными нормами до 0,18 мкм. |
| Аннотация (на другом языке): | The purpose of this work is to develop a method for controlling the elemental composition of defects in submicron microcircuits with design standards up to 0.18 μm. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/229622 |
| Располагается в коллекциях: | Физика (физика наноматериалов и нанотехнологий). 2019 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Стародубец.pdf | 125,03 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.