Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/229622Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Стародубец, Евгений Егорович | - |
| dc.date.accessioned | 2019-09-04T11:48:03Z | - |
| dc.date.available | 2019-09-04T11:48:03Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/229622 | - |
| dc.description.abstract | Целью данной работы является разработка методики контроля элементного состава дефектов субмикронных микросхем с проектными нормами до 0,18 мкм. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Определение линейных размеров, элементного состава, дефектов интегральных микросхем методом сканирующей растровой электронной микроскопии : реферат к дипломной работе / Евгений Егорович Стародубец; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. Петлицкий А. Н., Карпович И. А. | ru |
| dc.type | annotation | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| dc.description.alternative | The purpose of this work is to develop a method for controlling the elemental composition of defects in submicron microcircuits with design standards up to 0.18 μm. | ru |
| Располагается в коллекциях: | Физика (физика наноматериалов и нанотехнологий). 2019 | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Стародубец.pdf | 125,03 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.