Определение линейных размеров, элементного состава, дефектов интегральных микросхем методом сканирующей растровой электронной микроскопии : реферат к дипломной работе / Евгений Егорович Стародубец; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. Петлицкий А. Н., Карпович И. А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/229622

Title:	Определение линейных размеров, элементного состава, дефектов интегральных микросхем методом сканирующей растровой электронной микроскопии : реферат к дипломной работе / Евгений Егорович Стародубец; БГУ, Физический факультет, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники; науч. рук. Петлицкий А. Н., Карпович И. А.
Authors:	Стародубец, Евгений Егорович
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2019
Abstract:	Целью данной работы является разработка методики контроля элементного состава дефектов субмикронных микросхем с проектными нормами до 0,18 мкм.
Abstract (in another language):	The purpose of this work is to develop a method for controlling the elemental composition of defects in submicron microcircuits with design standards up to 0.18 μm.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/229622
Appears in Collections:	Физика (физика наноматериалов и нанотехнологий). 2019

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Стародубец.pdf		125,03 kB	Adobe PDF	View/Open