Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223664
Title: | Влияние микроволнового излучения на емкостные характеристики МОП структур Al-SiO2-Si |
Authors: | Конакова, Р. В. Матвеева, Л. А. Колядина, Е. Ю. Петлицкая, Т. В. Шинкаренко, В. В. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2007 |
Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 195-196. |
Abstract: | В работе рассмотрено изменение емкостных характеристик МОП-конденсаторов Al-SiO2-Si, с различными площадями металлизации, и радиуса кривизны кремниевой подложки с сформированными МОП структурами от дозы микроволнового излучения. Полученные зависимости могут быть объяснены модификацией границы раздела кремнийдиоксид кремния. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223664 |
ISBN: | 978-985-476-530-3 |
Appears in Collections: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
195-196.pdf | 454,63 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.