Влияние микроволнового излучения на емкостные характеристики МОП структур Al-SiO2-Si

Конакова, Р. В.; Матвеева, Л. А.; Колядина, Е. Ю.; Петлицкая, Т. В.; Шинкаренко, В. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223664

Title:	Влияние микроволнового излучения на емкостные характеристики МОП структур Al-SiO2-Si
Authors:	Конакова, Р. В. Матвеева, Л. А. Колядина, Е. Ю. Петлицкая, Т. В. Шинкаренко, В. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2007
Publisher:	Минск : Изд. центр БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 195-196.
Abstract:	В работе рассмотрено изменение емкостных характеристик МОП-конденсаторов Al-SiO2-Si, с различными площадями металлизации, и радиуса кривизны кремниевой подложки с сформированными МОП структурами от дозы микроволнового излучения. Полученные зависимости могут быть объяснены модификацией границы раздела кремнийдиоксид кремния.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/223664
ISBN:	978-985-476-530-3
Appears in Collections:	2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
195-196.pdf		454,63 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar