Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223664Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Конакова, Р. В. | - |
| dc.contributor.author | Матвеева, Л. А. | - |
| dc.contributor.author | Колядина, Е. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Шинкаренко, В. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-12T06:48:20Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-12T06:48:20Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 195-196. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-476-530-3 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223664 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассмотрено изменение емкостных характеристик МОП-конденсаторов Al-SiO2-Si, с различными площадями металлизации, и радиуса кривизны кремниевой подложки с сформированными МОП структурами от дозы микроволнового излучения. Полученные зависимости могут быть объяснены модификацией границы раздела кремнийдиоксид кремния. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : Изд. центр БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Влияние микроволнового излучения на емкостные характеристики МОП структур Al-SiO2-Si | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 195-196.pdf | 454,63 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.