Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223664
Title: Влияние микроволнового излучения на емкостные характеристики МОП структур Al-SiO2-Si
Authors: Конакова, Р. В.
Матвеева, Л. А.
Колядина, Е. Ю.
Петлицкая, Т. В.
Шинкаренко, В. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 195-196.
Abstract: В работе рассмотрено изменение емкостных характеристик МОП-конденсаторов Al-SiO2-Si, с различными площадями металлизации, и радиуса кривизны кремниевой подложки с сформированными МОП структурами от дозы микроволнового излучения. Полученные зависимости могут быть объяснены модификацией границы раздела кремнийдиоксид кремния.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223664
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
195-196.pdf454,63 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.