Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223348| Title: | Структурные и сенсорные свойства слоев SnO2, сформированных магнетронным распылением |
| Authors: | Прокопьев, С. Л. Кожевко, А. И. Барташевич, С. А. Гайдук, П. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 80-84 |
| Abstract: | Газовые сенсоры на основе слоев SnO2 широко используются для детектирования широкого круга примесей, присутствующих в воздухе, в том числе представляющих опасность для здоровья. В частности, такими примесями являются ацетон (СНзСОСНз), метан (СН4), монооксиды азота (N0), углерода (СО - угарный газ) и ряд других. Повышение чувствительности сенсорных слоев к детектируемым газам является актуальной задачей при разработке газовых сенсоров. В свою очередь, чувствительность напрямую связана с проводимостью сенсорного слоя, изменение которой в присутствии детектируемого газа обусловлено реакциями адсорбции и десорбции молекул газа, протекающими в основном в приповерхностной области сенсорного слоя. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223348 |
| ISBN: | 978-985-518-091-4 |
| Appears in Collections: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.