Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223348
Title: Структурные и сенсорные свойства слоев SnO2, сформированных магнетронным распылением
Authors: Прокопьев, С. Л.
Кожевко, А. И.
Барташевич, С. А.
Гайдук, П. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2008
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 80-84
Abstract: Газовые сенсоры на основе слоев SnO2 широко используются для детектирования широкого круга примесей, присутствующих в воздухе, в том числе представляющих опасность для здоровья. В частности, такими примесями являются ацетон (СНзСОСНз), метан (СН4), монооксиды азота (N0), углерода (СО - угарный газ) и ряд других. Повышение чувствительности сенсорных слоев к детектируемым газам является актуальной задачей при разработке газовых сенсоров. В свою очередь, чувствительность напрямую связана с проводимостью сенсорного слоя, изменение которой в присутствии детектируемого газа обусловлено реакциями адсорбции и десорбции молекул газа, протекающими в основном в приповерхностной области сенсорного слоя.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223348
ISBN: 978-985-518-091-4
Appears in Collections:2008. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
80-84.pdf830,02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.