Структурные и сенсорные свойства слоев SnO2, сформированных магнетронным распылением

Abstract

Газовые сенсоры на основе слоев SnO2 широко используются для детектирования широкого круга примесей, присутствующих в воздухе, в том числе представляющих опасность для здоровья. В частности, такими примесями являются ацетон (СНзСОСНз), метан (СН4), монооксиды азота (N0), углерода (СО - угарный газ) и ряд других. Повышение чувствительности сенсорных слоев к детектируемым газам является актуальной задачей при разработке газовых сенсоров. В свою очередь, чувствительность напрямую связана с проводимостью сенсорного слоя, изменение которой в присутствии детектируемого газа обусловлено реакциями адсорбции и десорбции молекул газа, протекающими в основном в приповерхностной области сенсорного слоя.