Просмотр "2008. Материалы и структуры современной электроники" Авторы Плебанович, В. И.
Результаты 1 - 3 из 3
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2008 | Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремния | Наливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И. |
| 2008 | Поведение примесей сурьмы и фосфора в имплантированном кремнии | Белоус, А. И.; Васильев, Ю. Б.; Емельянов, В. А.; Оджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р. |
| 2008 | Токи утечки в p-n-переходах интегральных схем, изготовленных пошаговым методом ионного легирования | Плебанович, В. И.; Оджаев, В. Б.; Васильев, Ю. Б.; Явид, В. Ю.; Челядинский, А. Р. |