Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215270| Заглавие документа: | Формирование атомно-гладких поверхностей |
| Другое заглавие: | The forming of atomic-smooth surfaces / A. V. Yukhnevich, I. A. Mayer, A. E. Usenka |
| Авторы: | Юхневич, А. В. Майер, И. А. Усенко, А. Е. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 351-354. |
| Аннотация: | Представлен новый вариант компьютерной модели растворения кристаллов типа алмаза. Модель позволяет анализировать процесс формирования атомно-гладких поверхностей на деталях приборов, которые изготавливаются методом маскированного растворения кристалла. Модель предназначена для использования в ходе разработки технологий производства предельно миниатюрных приборов различного назначения. |
| Аннотация (на другом языке): | A new version of the computer model for the dissolution of crystals of diamond type is presented. The model makes it possible to analyze the process of formation of atomically smooth surfaces on the details of devices that are manufactured by masked dissolution of a crystal. The model is intended for use in the development of production technologies for extremely miniature devices used for various purposes. |
| Доп. сведения: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215270 |
| ISBN: | 978-985-566-671-5 |
| Располагается в коллекциях: | 2018. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 351-354.pdf | 379,7 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.