Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/215270| Title: | Формирование атомно-гладких поверхностей |
| Other Titles: | The forming of atomic-smooth surfaces / A. V. Yukhnevich, I. A. Mayer, A. E. Usenka |
| Authors: | Юхневич, А. В. Майер, И. А. Усенко, А. Е. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 351-354. |
| Abstract: | Представлен новый вариант компьютерной модели растворения кристаллов типа алмаза. Модель позволяет анализировать процесс формирования атомно-гладких поверхностей на деталях приборов, которые изготавливаются методом маскированного растворения кристалла. Модель предназначена для использования в ходе разработки технологий производства предельно миниатюрных приборов различного назначения. |
| Abstract (in another language): | A new version of the computer model for the dissolution of crystals of diamond type is presented. The model makes it possible to analyze the process of formation of atomically smooth surfaces on the details of devices that are manufactured by masked dissolution of a crystal. The model is intended for use in the development of production technologies for extremely miniature devices used for various purposes. |
| Description: | Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/215270 |
| ISBN: | 978-985-566-671-5 |
| Appears in Collections: | 2018. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 351-354.pdf | 379,7 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.